EE Times· USHIO INC.·· 2 小时前
Ushio 开始接受 LED 光源投影对准机 UX-44101SCB 与 UX-45114SCB 订单
Accepting Orders for the LED Light-Sourced Projection Aligners
事实摘要
Ushio 宣布开发出采用 LED 光源单元的 UX-44101SCB 和 UX-45114SCB 全场投影对准机，并开始接受订单。该 LED 光源强度达到传统汞灯同等水平，可覆盖 Bump、WLP 等高曝光剂量工艺，产能达 120 WPH 以上。设备支持 4 至 8 英寸晶圆，可即时开关以延长光源寿命并降低运行成本。
原文与核验
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正文 · 原文摘要
Ushio has been accepting orders for LED-based UX-4 wafer aligners since July 2026, offering mercury-free, high-throughput lithography. The post Accepting Orders for the LED Light-Sourced Projection Aligners appeared first on EE Times .
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来源：EE Times · eetimes.com
所属事件：USHIO推出LED光源投影光刻机并接单