USHIO推出LED光源投影光刻机并接单

USHIO宣布开发出采用LED光源单元的全场投影光刻机UX-44101SCB与UX-45114SCB，并已开始接受订单。公司称该LED光源强度达到传统汞灯同等水平，可覆盖Bump、WLP等高曝光剂量工艺，产能达120 WPH以上，支持4至8英寸晶圆，并可即时开关以延长光源寿命、降低运行成本。 上述规格为暂定规格，USHIO注明外观和规格可能不经预告变更。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。