首尔大学HZO铁电电容实现0.6V下42.1ns翻转

首尔大学牵头的研究团队在《Nature Communications》发表论文，称通过 TiN 电极与界面工程降低界面电压损失，缓解了铁电 Hf0.5Zr0.5O2 电容速度与耐久性之间的矛盾。 论文报告的数据为：0.6V 下极化翻转 42.1ns，1.0V 下 8.1ns；在 0.6V 下以 20% 极化损失为标准，实现数千亿次开关循环，循环测试还达到 10^12 次双极循环而未发生硬击穿。这些性能数据来自该团队的实验报告。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。