干法a-ZIF光刻胶在EUV与电子束下呈现不同色调
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干法a-ZIF光刻胶在EUV与电子束下呈现不同色调
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AI 综述
KU Leuven、群山国立大学、布鲁塞尔自由大学与imec等机构发表论文，报告一种完全采用干法沉积的卤化非晶沸石咪唑酯骨架（a-ZIF）光刻胶，在电子束与极紫外曝光下表现出明显的、依赖辐照源的色调转换。 该结果来自论文《Irradiation-Source-Dependent Tone Conversion in Dry-Deposited Halogenated Amorphous Zeolitic Imidazolate Framework Resists for Electron-Beam and Extreme Ultraviolet Lithography》，研究团队称这种色调差异与辐照源有关。
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最新进展10月26日 05:08
KU Leuven 等机构研究干法沉积 ZIF 光刻胶在 EUV 与电子束下的色调差异报道时间线
沿着报道，了解事件的不同侧面。
10月26日
- Semiconductor EngineeringKU Leuven 等机构研究干法沉积 ZIF 光刻胶在 EUV 与电子束下的色调差异
KU Leuven、群山国立大学、布鲁塞尔自由大学与 imec 等机构发表论文，报告一种完全采用干法沉积的卤化非晶沸石咪唑酯骨架（a-ZIF）光刻胶，其在电子束与极紫外曝光下表现出明显的、依赖辐照源的色调转换。
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